dc.contributor.author |
Болотов, Г. П.
|
|
dc.contributor.author |
Болотов, М. Г.
|
|
dc.contributor.author |
Прибитько, І. О.
|
|
dc.contributor.author |
Бадай, М.В.
|
|
dc.date.accessioned |
2019-05-29T12:30:48Z |
|
dc.date.available |
2019-05-29T12:30:48Z |
|
dc.date.issued |
2018 |
|
dc.identifier.uri |
http://ir.stu.cn.ua/123456789/17730 |
|
dc.description |
Болотов, Г. П. Застосування газорозрядної плазми тліючого розряду в процесах отримання тонкоплівкових металопокриттів / Г. П. Болотов, М. Г. Болотов, І. О. Прибитько, М. В. Бадай // Комплексне забезпечення якості технологічних процесів та систем (КЗЯТПС – 2018) : матеріали тез доповідей VІІІ міжнар. наук.- практ. конференції (м. Чернігів , 10–12 травня 2018 р.) : у 2-х т.– Чернігів : ЧНТУ, 2018. – Т. 2. – С. 85. |
en_US |
dc.description.abstract |
Тонкі металеві плівки знаходять широке застосування в різних галузях сучасної
промисловості. Найбільшого розповсюдження тонкоплівкові елементи отримали,
насамперед, в технологічних процесах електроніки при виготовленні, наприклад,
напівпровідникових приладів, в лазерній та нелінійній оптиці для надання поляризаційних, просвітлюючих або ж дзеркальних властивостей оптичним елементам, в механіці для отримання функціональних антикорозійних, зносостійких покриттів, тощо. Проблема отримання структур у вигляді тонких металевих плівок є чи не найактуальнішою в мікроелектроніці при виготовленні інтегральних схем. |
en_US |
dc.language.iso |
uk |
en_US |
dc.publisher |
Чернігів : ЧНТУ |
en_US |
dc.subject |
газорозрядна плазма |
en_US |
dc.subject |
тонкоплівкові металопокриття |
en_US |
dc.subject |
CVD |
en_US |
dc.subject |
РVD |
en_US |
dc.title |
Застосування газорозрядної плазми тліючого розряду в процесах отримання тонкоплівкових металопокриттів |
en_US |
dc.type |
Working Paper |
en_US |