dc.contributor.author |
Чабан, Є. Є.
|
|
dc.contributor.author |
Болотов, М. Г.
|
|
dc.date.accessioned |
2022-07-14T11:44:47Z |
|
dc.date.available |
2022-07-14T11:44:47Z |
|
dc.date.issued |
2021 |
|
dc.identifier.uri |
http://ir.stu.cn.ua/123456789/25808 |
|
dc.description |
Чабан, Є. Є.Осадження тонких металевих плівок в тліючому розряді із порожнистим катодом / Є. Є Чабан ; наук. керівник М. Г. Болотов // Новітні технології сучасного суспільства (НТСС-2021) : ІІ Міжнародна науково-практична конференція (м. Чернігів, 17 грудня 2021 р.) : тези доповідей : у 2 ч. Ч. I. – Чернігів : НУ «Чернігівська політехніка», 2021. – С. 200-202. |
en_US |
dc.description.abstract |
В якості джерела іонізованої плазми використовували тліючий розряд, що горить в
порожнистому катоді. Реалізовували діодну плазмоіонну схему розряду при якій напруга
прикладалася між порожнистим катодом (матеріалом майбутньої плівки) та анодом
В якості мішені використовували мідний циліндр, виконаний у формі чаші та мідний
кільцевий анод, розміщений на відстані 40 мм від катоду. Між електродами на ізольованому
від камери тримачі розміщували скляну підложку (субстрат) розмірами 60×30 мм. |
en_US |
dc.language.iso |
uk |
en_US |
dc.publisher |
Чернігів : НУ "Чернігівська політехніка" |
en_US |
dc.subject |
осадження |
en_US |
dc.subject |
тліючий розряд |
en_US |
dc.subject |
порожнистий катод |
en_US |
dc.title |
Осадження тонких металевих плівок в тліючому розряді із порожнистим катодом |
en_US |
dc.type |
Working Paper |
en_US |