IRChNUT
Електронний архів Національного університету "Чернігівська політехніка"
Осадження тонких металевих плівок в тліючому розряді із порожнистим катодом
ISSN 2415-363X
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.
Показати скорочений опис матеріалу
| dc.contributor.author | Чабан, Є. Є.
|
|
| dc.contributor.author | Болотов, М. Г.
|
|
| dc.date.accessioned | 2022-07-14T11:44:47Z | |
| dc.date.available | 2022-07-14T11:44:47Z | |
| dc.date.issued | 2021 | |
| dc.identifier.uri | http://ir.stu.cn.ua/123456789/25808 | |
| dc.description | Чабан, Є. Є.Осадження тонких металевих плівок в тліючому розряді із порожнистим катодом / Є. Є Чабан ; наук. керівник М. Г. Болотов // Новітні технології сучасного суспільства (НТСС-2021) : ІІ Міжнародна науково-практична конференція (м. Чернігів, 17 грудня 2021 р.) : тези доповідей : у 2 ч. Ч. I. – Чернігів : НУ «Чернігівська політехніка», 2021. – С. 200-202. | en_US |
| dc.description.abstract | В якості джерела іонізованої плазми використовували тліючий розряд, що горить в порожнистому катоді. Реалізовували діодну плазмоіонну схему розряду при якій напруга прикладалася між порожнистим катодом (матеріалом майбутньої плівки) та анодом В якості мішені використовували мідний циліндр, виконаний у формі чаші та мідний кільцевий анод, розміщений на відстані 40 мм від катоду. Між електродами на ізольованому від камери тримачі розміщували скляну підложку (субстрат) розмірами 60×30 мм. | en_US |
| dc.language.iso | uk | en_US |
| dc.publisher | Чернігів : НУ "Чернігівська політехніка" | en_US |
| dc.subject | осадження | en_US |
| dc.subject | тліючий розряд | en_US |
| dc.subject | порожнистий катод | en_US |
| dc.title | Осадження тонких металевих плівок в тліючому розряді із порожнистим катодом | en_US |
| dc.type | Working Paper | en_US |
