Розробка методу вимірювання параметрів рельєфу нанооб’єктів

Катаєва, М. О.; Ігнатенко, П. Л.

dc.contributor.author	Катаєва, М. О.
dc.contributor.author	Ігнатенко, П. Л.
dc.date.accessioned	2023-04-28T07:06:59Z
dc.date.available	2023-04-28T07:06:59Z
dc.date.issued	2022
dc.identifier.uri	http://ir.stu.cn.ua/123456789/27516
dc.description	Катаєва, М. О. Розробка методу вимірювання параметрів рельєфу нанооб’єктів / М. О. Катаєва, П. Л. Ігнатенко // Комплексне забезпечення якості технологічних процесів та систем (КЗЯТПС – 2022) : тези доповідей XІІ Міжнародної науково-практичної конференції (м. Чернігів, 26–27 травня 2022 р.) : у 2 т. Т. 2. – Чернігів : НУ «Чернігівська політехніка», 2022. – С. 223	uk_UA
dc.description.abstract	Підвищення ефективності виробництва і якості виробів, розвиток електронної техніки і біомедичних приладів, а також створення нових наноструктурованих матеріалів з особливими властивостями в значній мірі визначаються точністю та прецизійністю метрологічного забезпечення. Особливої уваги заслуговує проблема вимірювання параметрів рельєфу нанооб’єктів, оскільки, спираючись на попередні дослідження вітчизняних та закордонних вчених в цій галузі, можна стверджувати, що досі не існує універсальної методики, яка б враховувала всі зовнішні дестабілізуючі фактори та специфічні властивості наноматеріалів. Оскільки властивості певних наноматеріалів відмінні від звичайних, вплив дестабілізуючих факторів на результати вимірювання може бути абсолютно непередбачуваним.	uk_UA
dc.language.iso	uk	uk_UA
dc.publisher	Чернігів : НУ "Чернігівська політехніка"	uk_UA
dc.title	Розробка методу вимірювання параметрів рельєфу нанооб’єктів	uk_UA
dc.type	Working Paper	uk_UA