Болотов, Г. П.; Болотов, М. Г.; Прибитько, І. О.; Бадай, М.В.
(Чернігів : ЧНТУ, 2018)
Тонкі металеві плівки знаходять широке застосування в різних галузях сучасної
промисловості. Найбільшого розповсюдження тонкоплівкові елементи отримали,
насамперед, в технологічних процесах електроніки при виготовленні, ...