Зварювання у твердій фазі в електростатичному полі вузлів кремній-скло-кремній

Олексієнко, С. В.; Куликовский, Р.  А.

Зварювання у твердій фазі в електростатичному полі вузлів кремній-скло-кремній

Олексієнко, С. В.; Куликовский, Р. А.

URI: http://ir.stu.cn.ua/123456789/15118

Date: 2009

Abstract:

В статті досліджено особливості виготовлення вузлів кремнієвих ємнісних датчиків тиску. Розроблено технологію виготовлення багатошарових вузлів типу кремній-скло-кремній за один цикл зварювання, що забезпечує досягнення рівноміцності обох зварних з’єднань у вузлі.

Description:

Олексієнко, С. В. Зварювання у твердій фазі в електростатичному полі вузлів кремній-скло-кремній / С. В. Олексієнко, Р. А. Куликовський // Нові матеріали і технології в металургії та машинобудуванні. – 2009. – №2. – С. 70-72.

Show full item record