Зварювання у твердій фазі в електростатичному полі вузлів кремній-скло-кремній

Олексієнко, С. В.; Куликовский, Р.  А.

dc.contributor.author	Олексієнко, С. В.
dc.contributor.author	Куликовский, Р. А.
dc.date.accessioned	2017-10-11T11:42:09Z
dc.date.available	2017-10-11T11:42:09Z
dc.date.issued	2009
dc.identifier.uri	http://ir.stu.cn.ua/123456789/15118
dc.description	Олексієнко, С. В. Зварювання у твердій фазі в електростатичному полі вузлів кремній-скло-кремній / С. В. Олексієнко, Р. А. Куликовський // Нові матеріали і технології в металургії та машинобудуванні. – 2009. – №2. – С. 70-72.	en_US
dc.description.abstract	В статті досліджено особливості виготовлення вузлів кремнієвих ємнісних датчиків тиску. Розроблено технологію виготовлення багатошарових вузлів типу кремній-скло-кремній за один цикл зварювання, що забезпечує досягнення рівноміцності обох зварних з’єднань у вузлі.	en_US
dc.language.iso	uk	en_US
dc.subject	датчикі тиску	en_US
dc.subject	зварювання у твердій фазі	en_US
dc.subject	кремнієві мембрани	en_US
dc.subject	кремній	en_US
dc.title	Зварювання у твердій фазі в електростатичному полі вузлів кремній-скло-кремній	en_US
dc.type	Article	en_US